直拉硅单晶抛光片

来源：作者：46所站点管理员发布时间：2023年11月20日浏览次数：

　　直拉硅单晶材料是支撑微电子技术的基石材料，在集成电路和分立器件领域有着广泛的应用，中国电科46所研制出了中国第一颗硅单晶，多年来聚焦MEMS、异质外延衬底用特种硅单晶材料等国内薄弱领域，取得了多项技术突破，产品具有几何精度高、表面质量好、产品稳定性高等特点。

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